SuperViewW1中图白光干涉仪测表面三维形貌采用经国家计量检测研究院校准的台阶高标准片作为测量标准件，采用该标准片对仪器的检测精度和重复性进行验收，其中台阶高标准片高度在4.7um左右，测量精度要求为<0.75%，重复精度要求<0.1%（1σ）（测量15次获取的数据标准差），主要用于对样品表面的2D、3D形貌进行测量，主要测量参数为粗糙度、台阶高、几何轮廓等。 特点 一是非接触高精密测量，不会划伤甚至破坏工件； 二是测量速度快，不必像探头逐点进行测量； 三是不必作探头半径补正，光点位置就是工件表面测量的位置； 四是对高深宽比的沟槽结构，可以快速而准确的得到理想的测量结果。